"半导体全自动滚圆开槽成形磨床"
本文介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。该磨床采用四个磨头对称布局,半导体滚圆机采用机械手进行上下料,配合头尾架夹持机构实现工件自动对中,主轴单元采用砂轮间距无级可调,实现大数据闭环控制,自动修正磨削尺寸。
该磨床可以实现半导体硅棒外圆、OF 面/V 槽(notch 槽)全自动一体机磨削,填补国内空白,减少设备进口。该磨床的主要特点是采用机械手进行上下料,配合头尾架夹持机构实现工件自动对中,主轴单元采用砂轮间距无级可调,实现大数据闭环控制,自动修正磨削尺寸。
对半导体硅棒外圆和OF 面/V 槽(notch 槽)进行磨削的关键技术是夹持组件、磨削技术和检测组件。夹持组件采用丝杠传动进行工件的夹紧,夹紧头架固定,尾架由丝杠带动进行左右移动对工件进行夹紧。磨削技术包括粗、精磨外圆和OF 面(或 notch)加工,砂轮选择采用业内认可的国外品牌。检测组件利用 X 射线衍射技术对硅棒进行检测。
该磨床的应用前景广泛,对改变半导体硅棒加工现状,提高产品质量、效率,填补国内空白,减少设备进口具有重要意义。
知识点:
1. 半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局和主要特点。
2. 半导体硅棒外圆和OF 面/V 槽(notch 槽)全自动一体机磨削的关键技术。
3. 夹持组件、磨削技术和检测组件在半导体硅棒磨削中的应用。
4. 半导体硅棒外圆和OF 面/V 槽(notch 槽)磨削的工艺参数和要求。
5. 中國电子材料行业协会数据显示,半导体硅棒月需求量的预测和增长趋势。
6. 半导体行业的发展对国民经济的影响和重要性。
7. 半导体硅棒磨削技术的发展对国产设备的需求和重要性。
8. 半导体全自动滚圆开槽成形磨床对改变半导体硅棒加工现状,提高产品质量、效率,填补国内空白,减少设备进口的重要意义。
本文介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局和主要特点,并对半导体硅棒外圆和OF 面/V 槽(notch 槽)全自动一体机磨削的关键技术进行了详细的介绍和分析,对半导体行业的发展和国产设备的需求具有重要的参考价值。