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E握手流程（中文版） E握手流程是自动搬送系统（AMHS）的关键组件之一，主要应用于半导体制造工厂中。随着晶圆尺寸的扩大，载体重量增加，制造工程复杂化，有必要引入自动搬送系统（AMHS），以提高生产效率和降低成本。 1. 背景和目的 在半导体制造工厂中，晶圆尺寸的扩大和载体重量的增加，使得制造工程变得越来越复杂。为解决这一问题，引入自动搬送系统（AMHS）成为趋势之一。E握手流程是自动搬送系统（AMHS）的关键组件之一，负责自动搬送晶圆和其他物料。 2. E84 和 E23 的不同点 E84 和 E23 是两种不同的自动搬送系统（AMHS），它们之间存在着一些不同点。E84 是一种高级自动搬送系统，具有更高的自动化程度和更快的搬送速度。E23 则是一种基础自动搬送系统，具有相对较低的自动化程度和较慢的搬送速度。 3. 限制 E握手流程有其一定的限制，例如搬送范围、速度和精度等。这些限制将影响到E握手流程的性能和效率。 4. 机器构成 E握手流程的机器构成包括自动搬送设备、控制系统和感知系统等。自动搬送设备负责搬送晶圆和其他物料，控制系统负责控制整个搬送过程，而感知系统负责检测搬送过程中的异常情况。 5. 用语说明 E握手流程中使用了一些特定的术语，例如AGV/OHT、AMHS、E84、E23 等。这些术语都是automatic guided vehicle（自动导引车）、overhead hoist transport（吊运式搬送系统）、automatic material handling system（自动物料处理系统）等的缩写。 6. 控制信号种类 E握手流程中使用了多种控制信号，例如GO 信号、OFF 信号等。这些信号负责控制整个搬送过程，并检测搬送过程中的异常情况。 7. Interlock Timeout Interlock Timeout 是 E握手流程中的一个重要概念，指的是在搬送过程中检测到异常情况时，系统将暂停搬送，以等待异常情况的恢复。 8. 通信程序 E握手流程中的通信程序包括装载移载、卸载移载等步骤。这些步骤都是自动搬送系统（AMHS）中的关键组件，负责自动搬送晶圆和其他物料。 9. 异常检测 E握手流程中使用了多种异常检测方法，例如移载动作开始前之异常、移载动作中之异常、移载动作后之异常等。这些方法能够检测搬送过程中的异常情况，并对其进行处理。 10. 注意事项 E握手流程中需要注意的一些事项，例如搬送速度、搬送范围和精度等。这些事项将影响到E握手流程的性能和效率。 11. Connector 及各信号之分配 E握手流程中的Connector 及各信号之分配是自动搬送系统（AMHS）中的关键组件，负责连接和分配自动搬送设备、控制系统和感知系统等。 12. 电路图 ? Sensor Unit 尺寸 E握手流程中的电路图 ? Sensor Unit 尺寸是自动搬送系统（AMHS）中的一个重要组件，负责检测搬送过程中的异常情况，并对其进行处理。 E握手流程是自动搬送系统（AMHS）中的一个关键组件，负责自动搬送晶圆和其他物料。它具有多种功能，例如搬送范围、速度和精度等，并且需要注意一些事项，例如搬送速度、搬送范围和精度等。