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MOCVD

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MaxBright™ 系统

操作与维护

P/N 1201554

修订版

：

2011

年

月

Veeco

机密

MaxBright 操作与维护文档 1201554 修订版 A

第 i 页

2011 Veeco Instruments, Inc.

第 1 章安全摘要 ............................................................................. 1-1

一般安全注意事项

................................................................................................. 1-1

第 1.1 节警告、注意和注释的使用........................................................................... 1-3

本文档中符号的使用

.............................................................................................. 1-3

MAXBRIGHT

系统中符号的使用

............................................................................... 1-4

一般预防措施

...................................................................................................... 1-7

其他安全预防措施

................................................................................................. 1-8

危险材料

............................................................................................................ 1-8

安全联锁和报警

.................................................................................................. 1-10

安全开关

.......................................................................................................... 1-11

第 1.2 节上锁/挂牌说明和程序 ............................................................................. 1-14

危险能量类型和量级

............................................................................................ 1-14

第 2 章 TURBODISC MAXBRIGHT MOCVD 系统规格参数 .................. 2-1

第 2.1 节一般规格参数 ........................................................................................ 2-1

公司地址

............................................................................................................ 2-1

系统规格参数

...................................................................................................... 2-1

第 2.2 节抗震规格参数 ........................................................................................ 2-2

设计依据

............................................................................................................ 2-2

模块重量（装箱）

................................................................................................. 2-4

其他规格参数（根据

FP12000

）

.............................................................................. 2-5

参考图纸

............................................................................................................ 2-9

第 3 章系统概述 ............................................................................. 3-1

第 3.1 节系统功能和模块 ...................................................................................... 3-3

第 3.2 节断路器面板 (CBP) ................................................................................ 3-11

第 3.3 节反应源输送组件 (SDA) .......................................................................... 3-14

元件（简易和双重稀释）

...................................................................................... 3-17

起泡器

............................................................................................................. 3-18

浴槽

............................................................................................................... 3-18

非工艺气体

....................................................................................................... 3-18

第 3.4 节水流和冷却器 ...................................................................................... 3-20

第 3.5 节生长室反应器 ...................................................................................... 3-21

第 3.6 节现场监控设备 ...................................................................................... 3-23

第 3.7 节控制软件 ............................................................................................ 3-25

第 3.8 节泵和排气过滤 ...................................................................................... 3-27

第 3.9 节系统电子装置 ...................................................................................... 3-29

第 3.10 节晶片处理器和 LFA ................................................................................. 3-30

第 4 章系统启动和关机 .................................................................... 4-1

MaxBright 操作与维护文档 1201554 修订版 A

第 ii 页

2011 Veeco Instruments, Inc.

第 4.1 节每日启动和系统准备 ................................................................................ 4-1

为系统

、泵、计算机及其他组件供电

...................................................................... 4-3

第 4.2 节从关机状态转换到空转状态 ...................................................................... 4-16

第 4.3 节关闭系统 ............................................................................................ 4-19

第 4.4 节系统维护保养后的启动流程 ...................................................................... 4-24

第 4.5 节维护关机 ............................................................................................ 4-27

设施维护关机程序

............................................................................................... 4-30

第 4.6 节通过断电或 EMO 关机 ............................................................................ 4-32

第 4.7 节在 MAXBRIGHT 软件上运行配方 .............................................................. 4-34

实施配方

.......................................................................................................... 4-34

第 4.8 节从空转（待机）状态转换到关机状态 ........................................................... 4-37

关闭系统

AC ..................................................................................................... 4-37

关闭系统泵

....................................................................................................... 4-37

关闭系统计算机

.................................................................................................. 4-37

关闭其他系统组件

............................................................................................... 4-37

第 4.9 节设施维护关机或紧急断电后的启动/恢复流程 (EMO) ....................................... 4-38

第 5 章操作 .................................................................................. 5-1

第 5.1 节转换：从关机到空转（待机） ..................................................................... 5-1

第 5.2 节转换：从空转到运行 ................................................................................ 5-2

第 5.3 节转换：从运行到空转 ................................................................................ 5-6

第 5.4 节链接到 NEXUS 流程图（和链接到 NEXUS 文档） ............................................... 5-7

第 5.5 节晶片载片器的载入/卸载 (LFA) .................................................................... 5-8

通过层流组件

(LFA)

处理晶片载片器

......................................................................... 5-8

第 5.6 节晶片加载和卸载 ...................................................................................... 5-9

本节所有程序

.................................................................................................... 5-10

参考图纸

.......................................................................................................... 5-10

相关程序

.......................................................................................................... 5-10

工具和材料一览表

............................................................................................... 5-10

使用层流组件

(LFA) ............................................................................................ 5-10

向晶片载片器加载基片

......................................................................................... 5-12

从晶片载片器卸载基片

......................................................................................... 5-13

第 5.7 节晶片输送：从 LFA 到 GC（A1、B1、A2、B2） ............................................ 5-15

第 5.8 节 GC 到 LFA .......................................................................................... 5-17

处理器

............................................................................................................. 5-17

第 5.9 节机器人设置和示教 ................................................................................. 5-17

MagnaTran 8

单

SCARA

机器人概述

...................................................................... 5-17

第 5.10 节计划程序操作 ...................................................................................... 5-20

第 6 章维护和修理 .......................................................................... 6-1

第 6.1 节生长室维护 ........................................................................................... 6-1

本节所有程序

...................................................................................................... 6-1

参考图纸

............................................................................................................ 6-2

相关程序

............................................................................................................ 6-2

其他文档

............................................................................................................ 6-2

MaxBright 操作与维护文档 1201554 修订版 A

第 iii 页

2011 Veeco Instruments, Inc.

推荐工具和材料

.................................................................................................... 6-2

转换：进入和退出维护状态

...................................................................................... 6-3

反应器维护准备

.................................................................................................... 6-3

拆除流量法兰

...................................................................................................... 6-3

流量法兰拆解指南

............................................................................................... 6-10

重新组装流量法兰

............................................................................................... 6-17

第 6.2 节 MAXBRIGHT GAN 加热器维护 ................................................................... 6-36

本节所有程序

.................................................................................................... 6-36

参考图纸

.......................................................................................................... 6-37

相关程序

.......................................................................................................... 6-37

其他文档

.......................................................................................................... 6-37

推荐工具和材料

.................................................................................................. 6-37

加热器组件拆除

.................................................................................................. 6-38

灯丝更换准备

.................................................................................................... 6-43

安装需要更换的加热器组件

.................................................................................... 6-43

中部和外部灯丝的更换

安装

.................................................................................. 6-47

拆除加热器

....................................................................................................... 6-51

清洁反应室

....................................................................................................... 6-53

重新安装加热器

.................................................................................................. 6-53

重新安装流量法兰

............................................................................................... 6-54

反应室重新组装

系统恢复

..................................................................................... 6-55

泄漏检查准备

.................................................................................................... 6-55

防止快速流动：安全

............................................................................................ 6-56

第 6.3 节固体颗粒过滤器维护 .............................................................................. 6-59

设备列表

.......................................................................................................... 6-59

常用物品

.......................................................................................................... 6-59

壳体组件与腔室的泄漏检查

.................................................................................... 6-70

材料处置与文档记录

............................................................................................ 6-72

第 6.4 节起泡器维护 ......................................................................................... 6-72

本节所有程序

.................................................................................................... 6-72

参考图纸

.......................................................................................................... 6-73

相关程序

.......................................................................................................... 6-73

推荐工具和材料

.................................................................................................. 6-73

更换起泡器

....................................................................................................... 6-74

浴槽初步充填和容量调整

...................................................................................... 6-79

浴槽成分调整

.................................................................................................... 6-80

第 6.5 节泄漏检查 ............................................................................................ 6-81

本节所有程序

.................................................................................................... 6-81

参考图纸

.......................................................................................................... 6-81

推荐工具和材料

.................................................................................................. 6-81

方法

............................................................................................................... 6-82

泄漏检查实用提示

............................................................................................... 6-82

泄漏检查基本步骤

............................................................................................... 6-83

泄漏检查推荐方法

............................................................................................... 6-84

管路系统

.......................................................................................................... 6-84

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