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芯片量产分析工具NEDA
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NEDA工具,可针对量产晶圆进行数据分析,包括原始数据、制程能力报告、柏拉图、直方图、趋势图、散点图、箱图、相关性等可形成wafer_map及参数map、叠片map。亲测可用!!!
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