超精密研磨

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超精密研磨

: 超精密研磨与抛光技术介绍了超精密研磨与抛光技术的概念，以及其发展情况。
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: 光学玻璃金刚石超精密切削研究现状综述光学玻璃金刚石超精密切削研究现状综述，贾鹏，周明，光学玻璃材料在航空航天、光学和光电子等领域的应用日益广泛，传统的磨削、研磨和抛光技术已不能满足当前精密工程的需要，光学玻
评级：0 浏览量：100 收藏量：0 资源大小：324KB 上传时间：2020-01-18

: 大尺寸硅片背面磨削技术的应用与发展随着大直径硅片的应用，硅片的厚度相应增大，而先进的封装技术则要求更薄的芯片，超精密磨削作为硅片背面减薄主要工艺得到广泛应用。本文分析了几种常用的硅片背面减薄技术，论述了的基于自旋转磨削法的硅片背面磨削...
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