测量薄膜厚度及其折射率的光学方法

介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成,并分析了它 们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题