二维几何模型介绍层流状态下的湿法化学蚀刻仿真模拟

研究蚀刻过程中完全裸露的铜的腔体中的浓度分布、速度分布和形状变化。可以发现，铜基底的变形几何结构取决于局部流体速度和蚀刻液物质的通量。模型预测层流状态下铜基底是如何被蚀刻的，并跟踪二维腔体在湿法蚀刻过程中的形状变化。