干货!金丝键合射频互连线特性分析.pdf
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2023-02-22
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干货！金丝键合射频互连线特性分析
1、引言在雷达、电子对抗和通信等领域中，电子系统逐步朝着高密度、高速
率、高可靠性、高性能和低成本等方向发展。多芯片电路作为混合电路集成技术的代表，
可以在三维、多层介质基板中，采用微组装互连工艺将裸芯片及各种元器件设计成满足需
求的微波集成电路。在微波多芯片电路技术中，常采用金丝键合技术来实现微带传输线、
单片微波集成电路和集总式元器件之间的互连。与数字电路中互连线不同的是，键合金丝
的参数特性如数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等都会微波传输特性产生严重的影响。
尤其是在毫米波等高频段，键合金丝的寄生电感效应尤为明显。因此，分析金丝键合的电
磁特性、并有效地设计金丝互连电路，对实现和提高多芯片电路的性能具有十分重要的意
义［1］。
目前有多种方法可用来分析和改善多芯片电路中键合金丝的电磁特性。1995 年，Lee 采
用矩量法计算键合线的阻抗损耗和辐射损耗，用来分析任意形状互连线的宽带电磁特性
［2］。同年，F. AlimenTI等人提出采用准静态法对键合金丝的传输特性进行分析［3］。由
于键合金丝的介质边界是开放式且结构呈弯曲状，随着工作频率的升高和金丝互连参数的
变化，采用上述方法的精度也会受到影响。随后，在2001 年，F. AlimenTI 等人又提出采
用时域有限差分法对金丝键合的电磁特性进行分析［4］。为补偿键合金丝的寄生电感效应，
人们提出了多种方法，诸如增加焊盘尺寸、增加微带调节分支线、增加高、低阻抗传输线
来设计低通滤波器等［5］-［7］。本文首先采用路的方法对键合金丝互连线的传输特性进
行建模和分析；随后根据金丝互连线的寄生电感效应，设计了电容补偿结构来改善传输线
与芯片、传输线与传输线之间的微波特性。通过计算结果明，采用这种方法来设计键合金
丝可以有效地改善多芯片电路的传输性能。
2、金丝键合的建模与分析如图 1 所示，是典型金丝键合互连线的结构模型。在两个相邻
的芯片或传输线之间采用单根键合金丝互连线连接，金丝的长度为 l，直径为 d；金丝与
地面的距离为 hs。其对应的等效电路模型如图 2 所示，其中，键合金丝可等效为串联电阻
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