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一、激光加工系统的组成 (5)
( 2 )气体激光器 常用的工作物质有分子激光的二氧化
碳( CO
2
)和离子激光的氩气( Ar ),后者输出功率
为 25W ,它的 10ns 级短脉冲,使热影响区小,用于半
导体、陶瓷和有机物的高精度微细加工。而 CO
2
激光器
的功率在连续方式工作时可达 45kW ,脉冲式可达
5kW ,故在加工中应用最广。
CO
2
气体激光器的波长为 10.6μm ,处于红外线
领域,因而其激光束为不可见光。它是在氦的体积分数约
80 %,氮的体积分数约 15 %和 CO
2
的体积分数约 5 %
的混合气体中进行放电形成粒子数反转的分子激光。它的
能量效率通常为 5 %~ 10 %,高效装置甚至可达 10
%~ 15 %。
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