氧化铝薄膜纳米孔的孔径对电解电压的依赖性 (2005年)

为了确定电解电压与氧化铝薄膜纳米孔孔径之间的内在关系，以2%的磷酸为电解液，在40-150V的电解电压范围内，对铝基材实施阳极氧化制备了具有纳米孔结构氧化铝薄膜。用环境扫描电镜（ESEM）观察结果表明，阻挡层中微裂纹的产生是形成纳米孔的先决条件，微裂纹的长度决定了孔径的大小。微裂纹的长度由阻挡层中的内应力决定，内应力由r-Al2O3，与金属铝基体的匹配度决定，匹配度由1-A1：O，的晶粒尺寸决定。X射线衍射（XRD）的分析结果表明，电解电压决定了氧化铝薄膜中r-A12O3晶粒尺寸的大小。因此，电解电压决定