Ge0.05Si0.95/Si异质结单模共面布拉格反射波导光栅的设计与分析 (2008年)

GeSi/ Si异质结布拉格反射光栅是硅基光电集成领域一种重要的集成光学器件,分析GeSi/ Si异质结的传光特性和布拉格条件,通过求解布拉格光栅方程,得出耦合系数和耦合效率。利用上述原理设计出入射角为66°,波导层的厚度为2μm,光栅长度为 4 252μm,槽深为0. 05μm,光栅周期为 0. 456μm,滤波带宽为 0. 214 nm,耦合效率为 84. 1%的 1. 3μm Ge 0 . 05 Si 0. 95 / Si异质结单模共面布拉格反射光栅,并用数值模拟了入射光波电场和反射光波电场的分布。