采用正弦微窗光栅的位移传感器

研制了一种新型的光栅位移传感器, 它采用了一种被作者称为正弦微窗光栅的新元件作为指示光栅, 用于消除光栅信号中的高次谐波。 所谓正弦微窗光栅是一种由许多微小的正弦窗孔排列组成的光栅。 介绍了采用光学图形发生器和刻蚀镀膜工艺制造这种光栅的方法, 并将制成的正弦微窗光栅用于光栅位移传感器的设计。 实验表明, 新型传感器能够很好地抑制光栅信号中的高次谐波, 可将高次谐波总量降至基波的2%以下。