基于解耦差分泽尼克待定系数法的二维横向剪切波面重建算法

横向剪切干涉术是一种自参考干涉计量技术，其原理是被检测波前与其自身被剪开的波前之间在重叠范围内相干涉，由干涉图得到两相互剪切波前的波前差，通过波面重建算法得到待测波面。在波面重建算法中，泽尼克待定系数法是其中的一种。分析了横向剪切干涉技术的测量原理；提出了一种新的基于解耦差分泽尼克待定系数法的二维横向剪切波面重建算法。理论分析和数值仿真表明,该算法简单直观，复原精度高，而且可用直角坐标系下的差分泽尼克多项式直接拟合环形波面。