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采用溶胶—凝胶法在石英玻璃衬底上制备了Fe掺杂的ZnO薄膜,研究了不同的Fe掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构与光学性质的影响.利用X射线衍射分析了薄膜样品的晶向和晶相,利用原子力显微镜观测了薄膜样品的表面形貌,利用双光束紫外一可见分光光度计分析了ZnO薄膜样品的光学性质.实验结果表明:所有ZnO薄膜样品都是六角纤锌矿结构,ZnO晶粒沿C轴择优生长.质量分数为1% Fe掺入之后,ZnO薄膜的C轴择优取向进一步增强,薄膜的晶化质量也得到进一步提高.当Fe的掺杂浓度高于1%时,ZnO薄膜(002)衍射峰的强度又降低
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weixin_38738528
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