基于有限元方法的涡轮分子泵转子系统模态分析 (2014年)

以FB-1500型涡轮分子泵为分析原型,依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布,建立了分子泵转子系统几何模型。采用有限元方法对转子系统进行模态分析,获得了转子系统的临界转速和振型。模态分析结果表明:泵运行在5～6阶固有频率之间,但未完全满足柔性转子安全设计要求,仍然存在安全隐患。提出改进转轴惯性矩、轴承支撑位置来提高转子系统的固有频率,以确保分子泵的安全运行。获得的转子系统模态,对涡轮分子泵启动加速和停车减速过程控制策略制定、减弱或回避共振带来的安全隐患、提高分子泵使用寿命具有参考价值。