基于变形体的热驱动部件多模态控制策略研究 (2005年)

为了提高基于变形体的具有大进给力热驱动部件的进给速度和控制精度，提出通过控制热驱动部件的温度场实现z方向微进给的方法。由导热微分方程推导热驱动部件的数学模型，在实验的基础上采用分段逐级拟合指数型函数的方法确定此模型的参数，然后采用时间最优控制和双环温度控制相结合的策略。实验结果表明，在满足快速性的条件下，热位移终值波动为40～50nm。该策略能克服进给速度和控制精度之间的矛盾，采用时间最优控制保证进给速度，采用双环控制保证控制精度。