VTI Technologies公司已研发出一种新的制造技术，通过将MEMS和ASIC技术相结合来制造更紧凑、更智能并显著降低成本、适于大批量生产的传感器。VTI公司完成了此项工作，这将为用于各类手持设备的传感应用揭开新的一页。传感器技术的挑战之一是将需求迥异的微机电系统与传统的晶圆级电路结合在一起。在研发工作的第一阶段，VTI已验证了一种使用现有的生产技术来制造更小、成本更低的传感设备的方法。在第二阶段，VTI正在寻求新的制造工艺，以便通过晶圆级集成技术让更复杂的传感器也能获得低成本批量生产和小型化的益处。 在今年成功完成第一阶段的工作后，VTI证明了异构集成的潜力。这种方法保留了ME
