径向剪切干涉术的标定算法研究

径向剪切干涉术目前被广泛运用于波前检测，但其测量结果中不仅包括待测波前的实际相位信息，也包括剪切干涉仪自身的系统误差。通过平移待测元件获取其产生的透射波前在不同位置时的干涉条纹图所包含的相位信息，运用最大似然方法对多次采集的相位差进行线性组合分析和最大似然估计，将待测波前相位差与系统误差相位差分离。对该方法进行了模拟实验，结果表明最大似然法可以将系统误差相位差与待测波前相位差分离，实现对剪切干涉仪的标定，为提取和重建待测元件波前消除了系统误差的干扰。