隧道磁阻微陀螺结构设计与加工

微机械陀螺的核心技术是微弱柯氏力的检测，而常规的微弱柯氏力检测水平已达到极限。对此，本文设计了一款新颖的基于隧道磁阻效应检测的面内微陀螺结构，利用隧道磁阻效应的高灵敏特性来实现微弱柯氏力的高灵敏检测。本文阐述了隧道磁阻微陀螺的工作原理，分析了微陀螺的动力学方程，完成了微陀螺结构设计、工艺加工及测试。测试结果显示微陀螺驱动方向和检测方向谐振频率分别为6853 Hz和6854 Hz，与理论仿真基本一致；微陀螺驱动方向Q值为571.1，检测方向Q值为527.3，结构灵敏度为15.3 nm/º/s。