一种基于CCD的实时测量光栅常数的方法 (2005年)

光栅常数是检验光栅质量的重要参数之一。该文介绍了一种实时检测光栅参数的方法，即利用面阵CCD采集光栅衍射图像信息，通过计算衍射士1级光斑与主极大光斑的能量比得出光栅常数。这种方法具有检测速度快、系统简单、精度高等特点，可用于生产线上光栅的实时检测。