GaN基发光二极管衬底材料的研究进展

GaN 基发光二极管(LED) 作为第三代照明器件在近年来发展迅猛. 衬底材料作为LED 制造的基础, 对<br> 器件制备与应用具有极其重要的影响. 本文分析综述了衬底材料影响LED 器件设计与制造的关键特性(晶格<br> 结构、热胀系数、热导率、光学透过率、导电性), 对比了几种常见衬底材料(蓝宝石、碳化硅、单晶硅、氮化镓、氧<br> 化镓) 在高质量外延层生长、高性能器件设计和衬底材料制备方面的研究进展, 并对几种材料的发展前景做出<br> 了展望.