飞秒激光微加工制造的光纤在耳语画廊模式谐振器

说明了通过飞秒激光微加工制造的光纤内耳语画廊模式谐振器。 圆柱谐振器腔是通过沿半径为25μm，高度为20μm的圆柱轨迹扫描带有红外飞秒脉冲的D光纤包层而制成的。 通过使用超声波清洁器对型腔表面进行平滑处理，可以达到约10（3）的品质因数，而该品质因数主要受到几百纳米的表面粗糙度的限制。 还详细研究了所提出的谐振器的谐振特性和偏振依赖性。 我们的方法在耳语画廊模式谐振器的集成方面向前迈进了一步。