脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

目前激光直写膜电阻时，所加入的辅料容易造成杂质污染，膜的厚度和粗糙度难以降低。为减少杂质污染，降低膜厚和表面粗糙度，改善激光直写微电路性能，进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究，分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的关系，获得了线宽低于光斑直径的导电薄膜。实验表明，扫描速度的增加或离焦量的降低会导致光斑重叠率和导线宽度减小。同时，过高的功率会使薄膜受到烧蚀破坏，功率过低则难以将靶材充分熔化附着在玻璃基板上。相比之下，锌膜颗粒尺寸较为均匀，而Al /Zn混合膜的颗粒尺寸不一致。