光学测量中相位重构算法的新型复合质量图

光学相位式测量法的成功与否与光学条纹图的相位重建密切相关。相位重建就是把从条纹图中获取的相位值恢复成连续的相位值。在相位重建算法中有一个共同的研究方向就是构造一个优秀的相位数据评价机制——质量图, 以达到相位重建算法的最优化。通过对两个测量实验条纹图进行研究, 发现调制度对数(以常数e为底)幅值的梯度偏差可以作为质量评价依据, 其所反映的测量数据可靠性可与经典的相位导数偏差质量图相当, 一般情况下可以以它作为相位重建算法的导向或权值; 进一步提出了一种复合质量图-调制度对数幅值-相位导数偏差质量图, 把调制度对数幅值的梯度偏差与相位导数偏差相结合, 并对结合的参数进行了优化。这种质量图能够标识相位导数偏差质量图所不能标识的细节缺陷, 并对坏点的标识轮廓更为清晰, 其可靠度优于调制度对数幅值的梯度偏差和相位导数偏差图, 在相位重建算法的应用方面, 其结果连续性优于调制度对数幅值的梯度偏差质量图。