第
卷第
期
年
月
光
子
学
报
基金项目
国家自然科学基金
第一 作者
张何丽
女
硕士研究生
主要研究方向为光电子与光通信器件
导师
(
通讯 作者
)
任一涛
男
教授
博士
主要研究方向为光波导理论与器件
光传感器等
收稿 日期
录用 日期
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引用格式
etal
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ActaPhotonicaSinica
48
张何丽
姜欢
张冰
等
集成光波导干涉芯片的设计及特性研究
光子学报
48
集成光波导干涉芯片的设计及特性研究
张何丽
,
姜欢
,
张冰
,
任一涛
云南大学 物理与天文学院 物理系
昆明
摘
要
:
运用光波导的模式理论设计了多层集成光波导干涉芯片
,
对芯片的光波导结构和材料参数进 行
优化
,
并制作了集成干涉芯片
借助集成芯片的波导 双 通 道
,
通过干涉获得了高对比度的远场干涉 条 纹
在实验误差范围内
,
当外界环境条件发生微小变化时
,
干涉条纹发生移 动
,
符 合 杨 氏双 缝干 涉理 论的 预
期
芯片对水汽
、
酒精的探测灵敏度约为
,
并具有足够的 温 度 稳定 性
该 集 成 干涉 芯片 具有 低浓
度环境气体检测的应用前景
,
可为集成高灵敏气体传感器的开发提供发展平台
关键词
:
平面光波导
;
干涉条纹
;
杨氏双缝
;
集成光学
;
玻璃
中图分类号
文献标识码
doi
Desi
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Chi
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sicsandAstronom
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YunnanUniversit
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Kunmin
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China
Abstract
Ke
y
words
OCISCodes
0
引言
微电子工业和微加工技术不断进步
极大地推动了微小光器件的发展与集成
尤其是光网络
信息传输
技术
人工智能等新技术的兴起
小尺寸
高器件密度
高灵敏度
高信息传输效率的光器件得到了迅猛发展
光集成器件与技术迅速成 为关 注热 点
开 发 相应 的光 集 成器 件或 功 能模 块便 成 为重 要的 技 术研 究领 域 之
一
光子集成是光波导发展的必然目标
介质光波导及其制备技术为光的定向传输
光器件空间尺寸的压
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