带双投影物镜和全息屏幕的投影型全息显微镜

本文提出了一种可用于集成电路装配和质量控制的、带有双投影物镜和全息光学元件散射全息屏幕的投影型全息显微镜(PHM)系统。介绍了该系统的光学原理、全息散射屏幕的记录方案、系统色差的改善和投影显微系统的特性。