利用磁控射频反应溅射方法制备了ZrO2薄膜。分析了工艺对薄膜结构的影响,结构与摩擦学特征的关系。研究表明,氧分压和基片温度是影响薄膜结构,从而影响其摩擦学特性的关键因素。
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