隔离槽深度对面阵探测器热应力影响研究
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渊河南科技大学 电子信息工程学院袁 河南 洛阳摇 源苑员园园猿冤
摇 摇 摘摇 要院 热冲击下 陨灶杂遭 面阵探测器的成品率制约着其适用性遥 为了解光敏元隔离槽深度对
陨灶杂遭 芯片中热应力的影响袁 针对典型器件结构袁 借助 粤晕杂再杂 软件袁 分析了隔离槽深度对 陨灶杂遭 芯
片尧 底充胶和硅读出电路中 灾燥灶 酝蚤泽藻泽 应力的影响遥 模拟结果表明院随着隔离槽深度的增加袁 陨灶杂遭
芯片上的热应力起初缓慢增加袁 之后增加速度越来越快袁 当隔离槽深度超过 愿 滋皂 后袁 陨灶杂遭 芯片上
的热应力陡峭上升遥 对硅读出电路和底充胶来说袁 在热冲击下累积的热应力似乎与隔离槽深度无
关袁 分别在 猿苑园 酝孕葬 和 员怨园 酝孕葬 左右浮动遥 当隔离槽深度取 源 滋皂 时袁 整个器件的热应力较小尧 且
分布均匀袁 能够满足光学串扰及结构可靠性设计的需求遥
关键词院 红外面阵探测器曰 隔离槽曰 结构应力曰 粤晕杂再杂
中图分类号院灾圆源愿援 员 摇 摇 文献标识码院 粤摇 摇 文章编号院 员远苑猿 原 缘园源愿渊圆园员圆冤园猿 原 园园猿猿 原 园源
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摇 摇 运藻赠 憎燥则凿泽院 蚤灶枣则葬则藻凿 枣燥糟葬造 责造葬灶藻 葬则则葬赠 凿藻贼藻糟贼燥则曰 蚤泽燥造葬贼蚤燥灶 贼则燥怎早澡曰 泽贼则怎糟贼怎则葬造 泽贼则藻泽泽曰 粤晕杂再杂
园摇 引摇 摇 言
红外面阵探测器具有灵敏度高尧 环境适应性
收稿日期院 圆园员圆 原 园猿 原 园怨
基金项目院 国家自然科学基金资助项目渊远员员园苑园愿猿冤曰航空
科学基金资助项目渊圆园员园园员源圆园园猿冤
作者简介院 孟庆端渊员怨苑愿 原 冤袁 男袁 河南叶县人袁 副教授袁 研
究方向是可靠性分析尧 设计及优化遥
好尧 抗干扰能力强尧 重量轻尧 功耗低等优点袁 被广
泛应用于航空航天红外遥感尧 气象尧 环境尧 医学和
科学仪器等领域
咱员暂
遥 在现有已发展较为成熟的红
外面阵探测器中袁 中波波段锑化铟渊 陨灶杂遭冤 面阵探
测器在批量生产中的工艺成熟度高尧 晶片内均匀
性好袁 晶片间一致性高袁 具有明显的成本优势袁 已
在红外制导尧 跟踪尧 凝视成像武器装备领域得到广
泛应用
咱圆 原 源暂
遥 陨灶杂遭 面阵探测器通常借助倒装焊技
圆园员圆 年第猿期
圆 园 员 圆 年 远 月
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航空兵器
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