高丰度硅 -28同位素的分离技术 (2003年)

同位素纯硅片具有特殊的物理性质,在信息技术领域有着非常广阔的应用前景。为获得高丰度 28Si,利用国产的高速气体离心机,选择 SiF 4作为分离的工作介质,对硅同位素进行了离心分离实验。通过单机分离实验,调整气体离心机的有关参数,摸索出适合级联分离的单机参数,同时得到气体离心机分离硅同位素的单位质量数的全分离系数γ0。利用由 4台离心机组成的级联,经过 6个阶段的分离,得到了 28Si丰度达到 99.5的样品。实验结果表明,离心法分离硅同位素是完全可行的。