报道了液氮温度下He+离子注入iNbO3波导的制备,采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率,计算了波导层折射率的分布和晶体中He+离子的射程分布和损伤分布,两者吻合得较好。
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