传感技术中的一种电容式传感器数字化通用检测接口设计

摘 要：针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题，提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于“激励-检测”的直接式微变电容测量原理，利用DDS发生载波，并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得电容变化量。根据接近式电容传感器的测量需要，设计了具体的硬件电路进行验证。实验结果表明，检测正确率在95%以上，该接口方案能够较好地检测设计值在0.1pF以上量级的微变电容，设计简洁，具有较强的移植性。 　　1 引 言 　　电容式传感器具有体积小，功耗低，灵敏度高等优点，被广泛应用于加速度、角速度、压力等各种非电量的测量。但是，与纯阻性传感器不同，电容式传感器的检测接口设计较为困难和复杂