透镜中心厚度测量系统光学设计

设计的透镜中心厚度测量系统是一种基于色差共焦原理、能快速自动测量且不接触透镜表面的新型测量系统。为使得测量设备测量范围较大，采取建立多重结构的方式分别消除各个组态内的单色像差，并放大组态间像距的差值以增大系统的位置色差。所设计的光学系统在400～1000 nm 波段范围内产生30 mm 左右的位置色差。使用该光学系统，能使测量设备的最大测量范围达到30 mm 以上。利用研制的设备对3 种不同厚度的透镜进行了实际测量，结果表明：对于厚度为6、15、30 mm 的透镜，设备的测量精度分别为±2.5、±3.5、±5.0 μm。