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§4.1 集成电路版图设计的一般程序 0.5学时 内容:1 版图设计及版图设计依据 1.1 版图设计 1.2 版图设计依据 2 版图设计的一般程序 2.1 确定版图设计的基本尺寸和设计规则, 2.2 确定元器件尺寸 2.3 划分隔离岛 2.4 排版布线 课程重点:版图设计的一般程序 和设计过程中的每一个步骤的具体要求,每一个步骤具体可实施的措施。由本节所介绍的设计依据可知,版图设计不仅要求设计者富有理论知识,而且要非常熟悉制造工艺
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§4.1 集成电路版图设计的一般程序 0.5学时 内容:1 版图设计及版图设计依据 1.1 版图设计 1.2 版图设计依据 2
版图设计的一般程序 2.1 确定版图设计的基本尺寸和设计规则, 2.2 确定元器件尺寸 2.3 划分隔离岛 2.4 排版布
线 课程重点:版图设计的一般程序 和设计过程中的每一个步骤的具体要求,每一个步骤具体可实施的措施。由
本节所介绍的设计依据可知,版图设计不仅要求设计者富有理论知识,而且要非常熟悉制造工艺
§4.1 集成电路版图设计的一般程序 0.5学时
内容:1 版图设计及版图设计依据
1.1 版图设计
1.2 版图设计依据
2 版图设计的一般程序
2.1 确定版图设计的基本尺寸和设计规则,
2.2 确定元器件尺寸
2.3 划分隔离岛
2.4 排版布线
课程重点:版图设计的一般程序 和设计过程中的每一个步骤的具体要求,每一个步骤具体可实施的措施。由本节所介绍的设计依据可知,版图
设计不仅要求设计者富有理论知识,而且要非常熟悉制造工艺;即不仅要熟悉电路参数和功能要求、熟悉电路的工作原理,而且要熟知电路
的工艺结构及完成各种工艺结构的工艺水平。
课程难点:无
基本概念:
1 版图设计-集成电路制造中各次光刻板图的总图设计(套合版图)。
2排版布线-在草图上形成各元器件正确的布线连接,然后按标准尺寸的一定倍率绘制出总图。
基本要求:了解何谓集成电路的版图设计,集成电路的版图设计与分离器件版图设计有何不同;了解版图设计的依据。知道为完成版图设计而
必须熟悉的各种电路参数和功能要求;必须熟悉的各种电路工作原理及性能要求;必须熟悉的集成电路的制造工艺的重要性。熟知版图设计
的一般程序;熟知芯片基本尺寸设计,各元器件尺寸和位置设计;熟知隔离岛的划分和排版布线的要求;熟知完成集成电路制造的各种手
段。
§4.2 版图基本尺寸的确定 0.5学时
内容:1 版图基本尺寸选取原则
1.1 版图基本尺寸选取依据
1.2 版图基本尺寸选取原则
2 版图基本尺寸的确定
2.1 掩模图形最小线宽的确定
2.2 掩模图形最小间距的确定
2.3 计算掩模图形最小间距时考虑的因素
2.4 掩模图形最小间距推导
课程重点:版图设计时,如何确定掩模图形最小线宽和掩模图形最小间距是十分重要的。本节给出了影响选取掩模图形最小线宽的各种工艺因
素,电性因素和误差因素;也给出了影响选取掩模图形最小间距的各种工艺因素,电性因素和误差因素。本节还给出了掩模图形最小间距推
导的步骤和推导实例。
课程难点:在版图设计时,必须确定掩模图形最小线宽和掩模图形最小间距。而掩模图形最小线宽和掩模图形最小间距的确定,受到各种工艺
因素的影响,如扩散工艺中的实际横向扩散;也会受到电性因素和误差因素的影响。因此,版图设计时综合考虑各种工艺因素、电性因素和
误差因素对掩模图形最小线宽和掩模图形最小间距的影响是必要的;同时,如何把掩模图形最小线宽和掩模图形最小间距作为版图设计的依
据也是重要的。
基本概念;
1 版图线宽-版图图形的宽度。
2 版图间距-两相邻版图图形间的距离宽度。
3 掩摸图形最小线宽-版图图形中的最小图形宽度。
weixin_38658086
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