高精度测量F P标准具间距的光谱方法

利用高分辨率光谱分析仪对空气隙F-P标准具透射谐振峰频率进行测量，然后通过直线拟合获得自由谱域，从而计算得出F-P标准具的间距。对F P标准具间距测量的精度进行分析，F P标准具间距测量的相对误差为2×10 -3。提出了一种新颖的入射光与F-P标准具垂直的精确调节方法。