以五水四氯化锡，钛酸四正丁酯为原料，采用水热法制备出二氧化锡和二氧化钛摩尔比分别为2：1; 6：1; 8：1的氧化钛、氧化锡复合纳米粉，分别将这3种复合纳米粉体涂敷在平面叉指金电极表面制成湿度敏感元件。采用复阻抗法测试了各元件对湿度的湿敏性能；对元件的灵敏度，响应及恢复特性进行了研究；分析了氧化钛掺杂量、工作频率对湿敏元件湿敏性能的影响。结果表明复合材料的阻抗值随工作频率和相对湿度的减小而增大，在低湿、低频下薄膜的阻抗值达到最大；氧化钛的加入改善了二氧化锡基薄膜的湿敏性能；二氧化锡和二氧化钛摩尔比为6：1
