非球面测量中零位计算全息的测量不确定度分析研究

非球面在光学系统中具有非常重要的作用。基于零位补偿计算全息(CGH)的干涉测量方法，因精度高、信息量大、调校方便，在光学计量和制造业领域受到广泛重视。以F数为4抛物面为测量样品，以光学计量领域比较成熟的平面、球面波象差，采用自准直方法，测出抛物面面形波象差；再用零位补偿CGH方法测量同一块样品，研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算，在光学熔融石英平面基底上制作零位补偿CGH，测量不确定度达到λ/10\[峰谷值(PV), λ=0.6328 μm\]，满足非球面波象差光学计量的要求。