对微机电系统（Micro-electro-mechanical systems，MEMS）器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构。这些测试结构体积较大，一方面占用有限的光刻版面积，另一方面加电和测试时都会增加复杂性和难度。针对一种基于微光机电系统（Micfo-opto-dectro-mechanical systems，MOEMS）技术的光栅平动式光调制器（Grating moving light modulator，GMIM），提出一种无须外加测量结构，直接利用GMLM本身结构特性得到残余应力的
