基于腔衰荡光谱技术的光纤微腔温度传感器

提出并实现了一种基于腔衰荡光谱(CRDS)技术的光纤微腔温度传感器。利用高频CO2激光脉冲技术在1060 nm单模光纤上直接刻蚀光学微腔，将其作为传感单元接入到光纤环谐振腔中，通过测量脉冲激光衰荡时间实现了温度传感。在24 ℃～93 ℃温度范围内，光纤微腔温度传感器灵敏度达到83.36 ns/℃，实验测量结果具有良好的线性度。