基于有限元分析QCM电极尺寸的优化设计* (2007年)

提出了一种优化石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance，简称QCM)结构、抑制寄生振动模的设计方法．用 Ansys9.0有限元软件直接对QCM进行三维有限元分析，从而避免了一般解析和半解析中对控制方程的简化．首先通过对 QCM谐振频率收敛性的分析，验证了有限元计算的正确性；然后分析了不同电极尺寸对QCM振动及能陷情况的影响，并找到了较佳的电极尺寸；最后针对不同电极尺寸的QCM进行了液体测量实验，实验结果验证了基于有限元分析QCM电极尺寸设计方法的有效性．