分析了相位调制器在激光相控阵中的重要性,提出了阵列相位调制器的设计思想. 对退火质子交换(annealed proton-exchanged,APE)光波导折射率进行了理论分析,利用光束传输法仿真模拟了APE 波导折射率分布和模场分布,优化设计了级联Y 分支波导结构,实现了光功率的高均匀输出. 基于铌酸锂晶体的电光效应,对影响半波电压的因素进行了分析,设计了长电极结构,理论上得到了低半波电压. 基于退火质子交换工艺制作了阵列相位调制器,并对器件的光学特性和电学特性进行了实验测试,测得器件的插入损耗为6.8
