低噪声低功耗微电容读出电路的优化与设计* (2010年)

结合斩波稳定技术，通过电容区配和多级优化的方法分别对用于MEMS微传感器的微电容读出电路的噪声件能和功耗进行了优化。基于优化分析采用两级斩波稳定电路结构，在CSMC 0.5μm CMOS工艺下，用Cadence Spectre进行了仿真验证。结果表明能精确检测出at（10-18F）量级的微电容，输出电压变化量与电容变化量呈线性关系，并且输出失调电压仅为38.9μv。等效输入噪声电压为17nV/Hz1/2。在5V电源电压下功耗仅为2.5mW，输出延时为6.29μs。