配合3-D微型流体的小型化3-D电磁阀型微型加热器

我们在熔融石英芯片内部制造并表征了原型片上3-D微型加热器，该加热器与微流体通道配合使用。 通过增强的飞秒激光湿法刻蚀，然后进行液态金属的微模具注入Craft.io，制造了尺寸为π×1002×1120μm3的螺线管型金属微加热器，它与线性微流体通道朝外缠绕。 该微型加热器具有出色的性能，例如精确的电流温度可控制性（温度范围从0°C到130°C），快速的加热/冷却过程（加热过程开始时高达16°C / s和15.8°C） / s（在冷却过程开始时），并且温度分布均匀。 这项工作不仅为生物或化学应用提供了高质量的微型加热器，需要严格的温度控制能力，而且为制造全面的真正的3D芯片实验室设备和微机电系统提供了一条可行的途径。 。