自“十五”计划起，中国集成电路行业获得快速发展，大规模、超大规模集成电路愈发 普及。硅片和硅基在消费电子、汽车和新一代电子技术等方面得到广泛运用，适合于大规模、 超大规模集成电路用的硅片和硅基需求日趋增加。然而，制备硅片和硅基的技术被日本 SUMCO 和信越化学公司、韩国 SK Siltron、德国 Siltronic 和环球晶圆所垄断，这几家企 业占据全球半导体硅片和硅基市场份额的 97%以上。 为了打破硅片和硅基垄断格局，中国积极推动硅片和硅基材料行业发展。近年来，在引 进和吸收国外硅片和硅基材料厂商技术的基础之上，中国大陆硅片和硅基企业在 6 英寸及 以下的半导体硅片领域的研发生产上有
