声子在纳米尺度下的输运需要考虑量子效应与边界效应,通过解析方法获得其传输特性比较困难,采用蒙特卡洛方法(Monte Carlo,MC)构建了声子在体态硅与硅纳米线结构中的输运模型,简化了边界散射的选择机制与处理方法。在15~1000K的温度范围内,对体态硅的热导率进行了模拟,验证了MC模型对本征散射处理方法的正确性,进而模拟了等效直径为22,37与56nm的硅纳米线在15~315K温度范围内的热导率,37和56nm硅纳米线热导率与实验值符合较好,22nm硅纳米线热导率比实验值偏大。分析认为随着等效半径的减