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为降低支撑控制难度和节约制造成本,同时又保证在线光学加工检测所需的支撑精度,提出超大口径反射镜的支撑布局优化方法。研究支撑状态下的反射镜面形精度,解决面形拟合和优化目标提取的问题;以斜率均方根(SlopeRMS)为目标建立非圆形口径的超薄反射镜加工支点布局优化模型,使其具备自适应有限元分析的功能;针对工程中大量使用的轻量化反射镜,设计出适应其几何变化的支撑转换结构,并展开以面形均方根(RMS)误差为目标的支点位置的优化设计;通过30 m口径望远镜(TMT)第三镜和某2 m口径反射镜的支撑布局优化,验证了所采用方法的效果。算例结果表明,所提方法具有较好的几何适应性,布局优化后支撑系统的精度满足超大口径反射镜的光学制造要求。
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书书书
第
34
卷
第
4
期
光
学
学
报
Vol.34
,
No.4
2014
年
4
月
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2014
超大口径光学制造均力支撑布局优化
胡海飞
1
罗
霄
1
,
2
辛宏伟
1
戚二辉
1
,
3
郑立功
1
,
2
张学军
1
,
2
1
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春
130033
2
中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春
130033
3
中国科学院大学,北京
烄
烆
烌
烎
100049
摘要
为降低支撑控制难度和节约制造成本,同时又保证在线光学加工 检测 所需 的支撑 精度,提出 超大 口径反 射
镜的支撑布局优化方法。研究支撑状态下的反射镜面形 精 度,解决 面 形拟 合和 优 化目 标提 取 的问 题;以 斜率 均方
根(
Slo
p
eRMS
)为目标建立非圆形口径的超薄反射镜加工支点布局 优化 模型,使其 具备 自适应 有限 元分析 的功 能;
针对工程中大量使用的轻量化反射镜,设计出适应其几何 变化 的支撑 转换 结构,并 展 开以 面形 均 方根(
RMS
)误 差
为目标的支点位置的优化设计
;通过
30m
口径望远镜(
TMT
)第三镜和某
2m
口径反射镜的支撑布局优化,验证了
所采用方法的效果。算例结果表明,所提方法具有较好 的几 何适 应 性,布局 优 化后 支撑 系 统的 精度 满 足超 大口 径
反射镜的光学制造要求。
关键词
光学制造;均力支撑;支撑布局优化;超大口径反射镜;面形精度;光机集成
中图分类号
O439
;
TH161
+
.14
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犃犗犛201434.0422003
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120.4610
;
120.4880
;
220.4610
收稿日期:
20130913
;收到修改稿日期:
20131128
基金项目:国家
973
计划(
2011CB013205
)、国家自然科学基金(
61210015
)
作者简介:胡海飞(
1984
—),男,硕士,助理研究员,主要从事大口径光学制造、光机结构分析及优化设计等方面的研究。
Email
:
huhf
@
ciom
p
.ac.cn
1
引
言
光学 加工过程中,镜体 在支撑状态 下受外部载
荷作用时,其刚度较 大 区域的弹 性 形变比镜 面 薄弱
区的弹性形变更小,前者对应的材料去除量更大;当
04220031
光
学
学
报
载荷卸除后,大刚度区凹 陷,薄弱区 凸 起,当 抛 光镜
面面形达到较高精度时,镜面呈现波浪形,极易导致
面形指标超标,进而 恶化成像效 果 类似于将支
撑系统的形貌反向印制到镜面,因此,该现象被称为
压印效应
[
1
]
。压印效应由光学加工过程中镜体的卸
载形变引起。
为确保成像质量,一般要求光学系统中的各镜面
在卸载前后
(重力方向改变或太空失重、温度升降、加
工载荷卸除、装卡状态改变、残余应力释放等)的形变
均方根值(
RMS
)优于
λ
/
50
(全文使用可见光波长
λ
=
633nm
)
[
2
]
。正在研制的
30m
口径望远镜(
TMT
)还
要求其第三镜(
TMT-M3
)在加工状态下镜面的斜率
均方根值(
Slo
p
eRMS
)优于
1.44
μ
rad
[
3
]
,除去加工和
检测误 差,分 配到支撑 系 统的镜面
Slo
p
eRMS
应 优
于
0.3
μ
rad
而随着口径和径厚 比的增大,镜 面
的卸载形变量动辄 突破微米 量 级,这 些 指标越来 越
难以达到,对镜 体 的支撑系 统 要求也越 来 越高。分
离点浮动支撑技术被广泛应用于抑制超大口径反射
镜加工过程中的卸 载形变,自
20
世纪
90
年代开始
得到广 泛 应 用 以 来,在 世 界 上 已 成 功 应 用 于 诸 多
2m
以上反 射 镜 的 加 工
[
4-8
]
,在 国 内 也 有 用 于 加 工
1m
量级反射镜的尝试
[
9-11
]
。
目前,分离 点浮动支撑 方法存在的 一个重要不
足是,为精确控制支撑力,需在各点安装高精度力促
动器进行反馈控制,以致造价昂贵,且控制变量繁多
导致控制系统复杂。
因此,本文研究了一种均力静压支撑系统,取消
力反馈环节
,每个支撑输出相同的支撑力,通过优化
支撑点布局而获得 理想的卸 载 面形精度,改进现有
支撑方法的不足,从 而 降低超大 口 径反射镜 的 制造
难度和成本。
2
新型静压支撑系统
将静压支撑系统分 成
3
~
6
个支路分 别 控制管
路液体压强,可实现镜体姿态的灵活调整,并将超大
口径支撑系统的控制变量从数十个至数百个输出力
锐减到
3
~
6
个压强控 制。 为防止 加 工过程中 镜 体
发生侧移,可在反射 镜 侧边额外 安 装三个以 上 的侧
限位支撑。支路结构设计概念如图
1
所示。
图
1
均力静压支撑系统
Fi
g
.1 E
q
ualforceh
y
drostaticsu
pp
orts
y
stem
其中,图
1
(
a
)所 示 支 路 含
狀
个 静 压 支 撑;图
1
(
b
)为支 撑 系 统 的 实 施 方 案,侧 支 撑 和 液 压 管 路 未
画出;图
1
(
c
)为图
1
(
b
)系统的支路管路连接方式,
4
个支路可用于调整 镜体的刚 体 位移和姿 态,其中每
条红线表示一个支路系统。
该均力支撑系统的每个支路中的各支撑结构通
过管路相连,在同一液体压强下工作,各点提供相同
的轴向支 撑 力。基 于 静 压 支 撑 系 统 的 等 力 输 出 特
性,相同支路内部各支撑点的输出力大小相同,因此
要实现支撑精度的 优化,必 须对支点 的 布局进行 优
化设计。
3
支点布局优化设计
光 学 系 统 中 对 于 光 机 结 构 的 刚 度 一 般 要 求 较
高,须将镜 面 形 变 量 控 制 在 亚 波 长 量 级 或 更 小
[
2
]
。
光机结构优 化 设 计 与 常 规 结 构 优 化 设 计 的 不 同 在
于,其评价指标 一 般 为 镜 面 的 形 变 情 况,且 较 为 复
杂,通常包括如下几个方面:
1
)反射镜的刚体位移(含平移和转动),主要取
决于支撑系统的刚度;
2
)镜面弹性形变所造成的曲率半径变化,受支
撑系统与反射镜自身刚度的耦合影响;
3
)弹性形变 的高阶分量 的
RMS
值,主要取决
于反射镜自身的刚度;
04220032
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