基于梯形介质光栅金属薄膜结构的折射率传感器

提出了一种基于梯形介质光栅金属薄膜结构的折射率传感器。利用有限元方法，研究了不同光栅厚度、梯形参数以及不同折射率下待分析液体的反射谱线。对传感器结构参数进行优化，得到了传感器的角灵敏度。考虑由反射谱线共振峰的对称移动导致的角灵敏度加倍效应，当待分析液体折射率从1.33变化到1.34时，传感器角灵敏度可达845.23(°)/RIU（RIU为折射率单位）; 从1.34变化到1.35时,传感器角灵敏度可达1283.14(°)/RIU，并且该传感器具有更宽折射率范围的检测应用。梯形参数对传感器的角灵敏度起着决定性的作用，具有最大灵敏度的传感器结构能形成对比度最大的电场分布驻波结构。