电容式加速度传感器机电耦合分析

为了研究电容式加速度传感器在受加速度外力作用过程中其端口电流的变化情况，建立了一个电容式传感器模型。在对电容模型进行有限元固体力学分析的基础上，将有限元模型代入电路中，通过机械、电路耦合仿真的方法模拟电容传感器端口的电流变化。模拟结果清楚显示了加速度作用对电容端口电流的影响，传感器所受加速度作用大小与其电流并非简单的线性关系，还与加速度方向紧密相关。只有机电耦合的分析方法才能揭示传感器电流在加速度加载时电流的变化过程。