金属电极的腐蚀特性研究* (2012年)

对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极，通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件，研究了金属电极的腐蚀特性。通过研究发现，电极的腐蚀特性跟电极材料、电极厚度、电极层数、电极的缺陷及应力、腐蚀液成分及温度等条件有关。最后设计了一种打底层金属材料为Tiw，层厚20 nm，上层金属为Au，层厚度为200 nm的金属电极，在覆盖一层光刻胶，并对光刻胶进行后烘坚膜的情况下，在常温下，用HF溶液腐蚀1 h后，SOI MEMS微结构完全释放，金属电极还十分完好。