激光直接光刻制作微透镜列阵的方法研究

介绍了利用激光直接光刻技术制作8相位台阶菲涅尔衍射微透镜列阵的工艺方法，并对元件的衍射效率及光刻过程中的制作误差进行了分析，透镜列阵在小形夏克-哈特曼波前传感器中得到了应用。