紫外曝光机均匀照明系统的设计与研究* (2012年)

紫外曝光机是印刷线路板（PCB）制作工艺中的重要设备，PCB高密度、微细化的发展趋势，对曝光机光照均匀性，平行性的要求越来越高。为了找出可以更好满足市场需求的曝光机光学系统，运用非成像光学方法，对两种不同光学结构曝光机的光斑均匀性进行了对比分析。通过实验可以看出，在通光孔径较大的光学系统中，复眼透镜阵列和方棒对改善系统光照均匀性以及能量利用率的作用，在实验基础上对如何选择光学系统的匀光器件做了对比性阐述。